3000度晶体提拉炉
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VAF晶体提拉路
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型号 | VAF-CZ | |
| 最高温度 | 3000度 | ||
| 电源电压 | AC三相380 | ||
| 输入功率 | 51KW（焊机11.3KW×4+机械泵1.1KW+冷水机4KW） | ||
| 技术方案 |
提拉棒下方可安装籽晶，物料在坩埚中熔化后，将籽晶下降到液体中，然后向上边提拉边旋转籽晶棒，即可长出单晶
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| 坩埚 |
水冷铜坩埚,可升降和旋转 升降行程：50mm 转动速度：0~20rpm |
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| 真空腔室 |
水冷真空腔室的尺寸是Dia208X300 真空腔室上有一个提拉棒，可安装籽晶。 提拉棒四周有四根电弧枪 腔室前方有一个直径是80mm的观察窗，方便观测起弧熔化状态 |
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| 提拉棒 |
提拉生长速度：0.1~2000μm/s 转速：0~20rpm 行程：150mm |
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| 工作电流 | 每个电弧枪的最大电流是315A | ||
| 电弧熔炼阴极装置 | 引弧方式为高频引弧 | ||
| 最高温度 | 3000度 | ||
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腔体真空度（分子泵机组） |
< 5X10 -4Pa | ||
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腔体可充气体类型 |
氦气、氩气 | ||
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工作时需充气体 |
金属熔炼过程中需要高纯Ar气（5N）或5% H2 + 95% Ar | ||
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最高熔炼温度 |
3000度 （可熔各种难熔金属） | ||
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升压率 |
<4Pa/小时 | ||
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钨电极
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直径为10mm的铈钨棒，（电弧枪可通水冷却），非自耗式钨电弧针，熔点3800度
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欠压保护（水压） |
有 | ||
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真空腔体内是否水冷 |
是 | ||
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冷水机（选配） |
3P | ||
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真 空 机 组
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机组输入电压 |
380V /220V | |
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波纹管 |
KF40×1000 | ||
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真空挡板阀 |
KF40 | ||
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前级机械泵 BSV30
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功率 | 1.1KW | |
| 电压 | 380V | ||
| 转速 | 1450rpm | ||
| 进气口径 | KF40 | ||
| 前机泵抽气速率（L/S） | 8 | ||
| 极限压强 | 5X10 -1Pa | ||
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大型高真空气动挡板阀
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口径 | DN160 | |
| 使用范围 |
1×10-3a～1.2×105Pa |
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| 阀体和阀座漏率（Pa.L/S） |
<1.3×10-5Pa·L·s-1 |
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复合真空计
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型号 | ZDF | |
| 电源 | 220V 50Hz 45W | ||
| 控制精度 | ±1% | ||
| 测量范围 | 10-5 -10 5 Pa | ||
分子泵机组 |
分子泵型号 | FF-160/620 | |
| 输入电压 | 220V | ||
| 分子泵进气口法兰 | DN160 | ||
| 分子泵抽气速率L/S（对空气） | 600 | ||
| 额定转速rpm | 27000 | ||
| 分子泵极限压强（Pa) | 6×10-7 | ||
| 冷却方式 | 水 冷 | ||
| 冷却水压（MPa） | 0.1-0.2 | ||
| 冷却水温度 | <25℃< p=""> | ||
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焊机
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型号 | WSM-315 | |
| 功率 | 11.4KW | ||
| 输入电源 | 三相380 | ||
| 额定输出电压 | 22.6V | ||
| 焊接电流范围 | 5~315A | ||
| 效率 | 81% | ||
| 优点 | 电流稳定，具有欠水报警 | ||
| 尺寸 | 260×520×495mm | ||
| 重量 | 23Kg | ||
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水冷机 （选配） |
电源 | 三相380 | |
| 最大扬程 | 38m | ||
| 输入总功率 | 3.2KW | ||
| 水箱容量 | 60L | ||
| 制冷量 | 7220Kcal/h | ||
| 出入水口 | Rp1/2’’ | ||
| 外形尺寸 | 520*1150*1145mm | ||
