RTL1200-PECVD转动式PECVD系统

  • 详细描述
  • 技术参数
  • 标准配置
  • 选配件
  • 视频展示

  1、瑞典Kanthal A1 电阻丝

                                    

           

        Kanthal A1 原丝                                               国产电阻丝炉膛                         VS                                进口电阻丝炉膛

 

(1)、表面温度高可达1420

(2)、表面为不锈钢色(非常亮、客户识别时要注意)、不会生锈,使用时间再长都不会掉渣。

(3)、Kanthal电阻丝资料下载

(4)、Kanthal电阻丝网站:www.kanthal.com

(5)、电阻均衡、温场均衡性好

 

 

                                                                                                                                                           

大部分厂家使用的首钢生产的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 电阻丝                     Kanthal  A1 电阻丝 电阻均匀 、 发热量均衡

有时候电阻不均衡、一部分发热量大一部分发热量小                                            温场效果好                 

 

2、安装有空气开关和漏电保护器:

当电路过流或漏电时,空开会自动断开。

 

3、可以与电脑连接

该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出

 

 

4、炉膛

 

     

1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。

2、采用日本技术成型。

3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本最优的热工技术布置、经过热工软件模拟温场

4、采用4周加热,温场更加均衡

 

5、可选UL认证电气板 (全部通过UL认证的进口电器)

 

 

6、认证

     

 

7、法兰

                                                    

铰链式法兰(选购)           可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰(选购)                 水冷法兰(选购)

                                

 

 

 

 

  RTL1200-PECVD系统技术参数

 

RTL1200 管式炉

 

 

 

 

 

 

 

型号

RTL1200-PECVD

 功率

3.5KW

  炉管尺寸

Dia 60(OD)X1400mm

外形尺(LXDXH)

1300X420X1200

电源电压

220V

相数

单相

加热元件

瑞典Kanthal  A1 进口电阻丝 (电阻丝可承诺保修2年)      点击进入资料下载

控制方式

 

采用宇电程序控温仪表(标配)

1、30段程序控温智能PID调节。

2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。

3、带有485 通讯接口(选购软件时标配)

4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

5、仪表具有温度自整定的功能

(更换进口仪表,需要另外付费,选购)

                                                                        

FP93控温仪表(日本岛电)               欧陆仪表                                  触摸屏仪表

控温模式

智能PID

断偶保护和显示

过温保护

过流保护

炉膛材料

1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。

2、采用日本技术成型。

3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本最优的热工技术布置、经过热工软件模拟温场

控制精度

+/- 1 ℃

触发器

移相触发

电器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德国西门康

最高温度

1200 ℃

额定温度

1100 ℃

升温速率

≤20 ℃/ Min (可根据要求修改)

推荐升温速率

≤10℃/ Min

热电偶型号

K  型

加热段长度

400mm

真空法兰

1、为了增加抽气速率,达到更高真空的要求。可将原有软管接头更换成KF-25接口(VS-0.1和VS高真空系统接口皆为KF25)

2、如用于供气系统,可将原有软管接头更换成Φ6.35mm双卡套接头

转动电机功率  40W
电动推杆功率  40W
炉子倾斜角度  -10~30度
炉管转动速率 采用无级变速电机  转速可在1-25转/min 之间可调
转动密封方式  采用转动磁流体密封

四周表面温度

≤45℃

射频电源

(等离子体发生器)

功率输出范围

  0-500W

最大反射功率

  10W

信号频率

  13.56MHZ±0.005%

冷却方式

  空气冷却

输入电源

  208-240V  50/60HZ

 

GX供气系统主要参数

流量控制和检测采用

 

 D07-7C

质量流量计

 

标准量程

采用质子流量控制器       5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  (你可以任意选择量程和所通气体的类型)

最大工作压力

3MP

准确度

 ±1.5%

气压降

<0.01MPa

重复精度

±0.2% F.S

路数

   1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意选择几路)

接头类型

 双卡套不锈钢接头

系统工作压力范围

0.1~0.5 MPa

工作温度

 5-45℃

压力真空表表

-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格

静态混气室

 Dia50 X 400MM

接口

 Dia6   1/4”

VS-0.1抽气系统

 

 

 

电源

  220V

尺寸

 600X600X600

波纹管

 KF25X1000mm

用该系统抽炉管真空度可达

 10 -1Pa

真空挡板阀

 KF25

 

VRD-8真空泵

 

(方案一)

 

型号

VRD-8

极限分压强

5X10-2 Pa

进排气接口

 KF25

电机转速

1440RPM

抽气速率

 2.2L/S

 电机功率

0.4KW

Perfeer ACP15

无油干泵

 

     (方案 二)

型号 ACP15
电源 100-240V     50/60HZ
极限分压强 0.02 Torr
进、排气接口 KF25
重量 25KG
最高氦气漏率 5 · 10-8 Pa m3/s 
抽气速率  14  m3/h
功率  450W

电阻真空计

   型号

ZDR-1

   功率

25W

  真空度测量范围

0.1-10 Pa

电阻硅

ZJ-52T

    

瑞典(INFICON皮拉尼陶瓷电容真空计(选购)

 

 

 

 

   

 

型号

PCG554

  输入电压

 24V  1A DC(配有220V变压器)

真空计接口

KF16

数字显示

数字显示(屏幕尺寸为20x14mm),其数据显示单位为torr

产品尺寸

46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

重量

5 lbs

检测气体

可检测各种气体,包括混合气体,测量精确、重复性好。

是否防腐

防腐

响应时间

≤30ms

测量范围

3.8x10-5 -1125 Torr.

分子泵机组(选购)

机组输入电压

380V /220V

波纹管

KF40X1000

真空挡板阀

KF40

机箱尺寸

600X600X600

分子泵(方案一)

 

 分子泵型号

  FJ620

输入电压

 380V

分子泵进气口法兰

  DN160

分子泵抽气速率L/S(对空气)

600

分子泵极限压强(Pa)

6×10-7

冷却方式

 水冷

冷却水压(MPa)

 0.1-0.2

冷却水温度

<25℃

环境温度

0~40℃

建议启东压强

<100Pa

   前机真空泵RVP-6

(方案一)

    

  

功率

0.75KW

电压

380V

转速

1450rpm

进气口径

 KF25/KF40

前机泵抽气速率(L/S)

6

极限压强

4X10 -2Pa

 

 

德国Pfeiffer真空泵

       (方案二)

 

电压

220V

功率

110W

极限真空度(在无泄露时)

 

抽气接口

KF40

重量

150KG

前机泵抽速

0.9m 3/ h

抽气速率(N2)

33L/S

 

复合真空计

复合真空计型号

ZDF

 电源

 220V   55W

控制精度

± 1%

 真空计测量范围

10-5 -10 Pa

 

RTL1200系统标配

描叙

数量

图片

RTL1200管式炉

1 套

                               

 

石英管

1根

不锈钢法兰

1 套

不锈钢炉钩

1 个

石英炉塞

1对

高温手套

1 双

K型热电偶 1个

485转换接口和软件(选配)

1 套

说明书

1本

 

法兰支撑架

1 份

                                            

供气系统

 

  1台
 VS-0.1抽气系统 1台
射频电源 1台
卡套 4个
波纹管 1支
真空挡板阀 1个
钢瓶接头(N代表路数) N个                  
阀门接头 2
聚四氟乙烯管(N代表路数) NX5

 



在线客服
  • 产品咨询产品咨询
  • 产品咨询产品咨询
  • 售后服务售后服务
  • 真空炉咨询真空炉咨询
咨询电话
  • 4008-051-061
因为专注  所以专业
销售热线: 4008-051-061
              025-83111681
              025-83693678
              13913006686
              15190487889
技术支持: 13951036979
售后电话: 15250965162
公司传真: 025-83111571
“扫码加关注有优惠哦”