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1400度单温区CVD系统

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详细技术参数

TL1400管式炉

 

 

 

型号

TL1400-C-I

TL1400-C-II

TL1400-C-III

 功率

5KW

5KW

6KW

炉管尺寸 

高纯刚玉管:60/80/100*1000mm(管径可选)

两边各放置两个炉塞,炉塞可以阻挡炉管中心的热辐射,必须在加热前放置在炉膛的正确位置

 

外形尺寸(LXDXH)

1400X700X1560

1400X700X1560

1400X700X1640

电源电压

220V /380V

相数

单相

加热元件

硅碳棒

控制方式

 

 采用宇电程序控温仪表(标配)

1、30段程序控温智能PID调节。

2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,,(当电炉温度超过1420度或热电偶烧断时,

主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。

3、带有485 通讯接口(选购软件时标配)

4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

5、仪表具有温度自整定的功能

(更换进口仪表,需要另外付费,选购)

                                                      

FP93控温仪表                          欧陆仪表                   触摸屏仪表

(日本岛电)

控温模式

智能PID

断偶保护和显示

过温保护

过流保护

控制精度

+/- 1 ℃

触发器

移相触发

电器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德国西门康

最高温度

1400 ℃

额定温度

1350 ℃

升温速率

≤35 ℃/ Min (可根据要求修改)

推荐升温速率

≤15℃/ Min

热电偶型号

S型

加热段长度

300 mm

温度校准(选配)

定期对管式炉进行温度校准,可保持炉温的准确性和均匀性。您可以在本公司选购一套简单的校准工具,辅助您完成这项工作,完整的校准套件包括标准热电偶,温度校准仪,补偿导线

            

电器认证

四周表面温度

≤45℃

阀门和法兰

 

 

GX供气系统主要参数

 

质量流量计

 

量程和气体  

 

5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  (你可以任意选择以上量程和所通气体的类型)

耐压

 

3MP

流量控制精度

 

±1.0%F.S

最大工作(使用)压力

 

0.3MPa

线性

 

±0.5%F.S.

重复精度

 

±0.2% F.S

路数

   1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意选择几路)

接头类型

 双卡套不锈钢接头

系统工作压力范围

0.1~0.5 MPa

工作温度

 5-45℃

压力真空表表

-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格

静态混气室

 Dia50 X 400MM

接口

 Dia6  / 1/4”

VS-0.1抽气系统

方案一或方案二任选一个

 

 

 

电源

  220V

尺寸

 650X650X600    /    650X650X300

波纹管

 KF25X1000mm

用该系统抽炉管真空度可达

 10 -1Pa

真空挡板阀

 KF25

 

VRD-8真空泵

方案一

型号

 

VRD-8

  极限分压强

 

5X10-2 Pa

   进排气接口

 

 KF25

    电机转速

 

1440RPM

抽气速率

 

 2.2L/S

    电机功率

 

0.4KW

ACP15无油多级罗茨泵

 方案二

型号  ACP15
电源   AC100-240   50/60HZ
功率  450W
重量  25KG
最高氦气漏率  5 · 10-8 Pa m3/s 
抽气速率  14  m3/h
极限压强  0.02Torr
进、排气接口  KF25

电阻真空计

(方案一)

   型号

 

ZDR-1

   功率

 

25W

  真空度测量范围

 

0.1-10 Pa

   电阻硅

 

ZJ-52T

    

 

 

 

 

瑞典(INFICON)皮拉尼陶瓷电容真空

(方案二)

 

 

 

 

   

 

     型号

 

PCG554

  输入电压

 

 24V  1A DC(配有220V变压器)

真空计接口

 

KF16

数字显示

 

数字显示(屏幕尺寸为20x14mm),其数据显示单位为torr

产品尺寸

 

46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

重量

 

5 lbs

检测气体

 

可检测各种气体,包括混合气体,测量精确、重复性好。

是否防腐

 

防腐

响应时间

 

≤30ms

测量范围

 

3.8x10-5 -1125 Torr.

分子泵机组(选购)

(方案一或方案二任选一个)

机组输入电压

380V /220V

波纹管

KF40X1000

真空挡板阀

KF40

机箱尺寸

600X600X600

分子泵

(方案一)

 

 分子泵型号

 

  FJ620

  输入电压

 

 380V

  分子泵进气口法兰

 

  DN160

分子泵抽气速率L/S(对空气)

 

  600

分子泵极限压强(Pa)

 

6×10-7

冷却方式

 

 水冷

冷却水压(MPa)

 

 0.1-0.2

冷却水温度

 

<25℃

环境温度

 

0~40℃

建议启东压强

 

<100pa

分子泵前级真空TRP-24

(FJ620分子泵必须要配此前级泵)

(方案二)

  

功率

 

0.75KW

电压

 

380V

转速

 

1450rpm

进气口径

 

 KF25/KF40

前机泵抽气速率(L/S)

 

6

极限压强

 

4X10 -2Pa

 

 

德国Pfeiffer真空泵(方案二)

 

电压

 

220V

功率

 

110W

抽气接口

 

KF40

重量

 

150KG

前机泵抽速

 

0.9m 3/ h

抽气速率(N2)

 

33L/S

 

复合真空计

复合真空计型号

 

ZDF

 电源

 

 220V   55W

控制精度

 

± 1%

 真空计测量范围

 

10-5 -10 Pa

 CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

 

这款CVD系统是由3路供气系统+TL1400管式炉+真空系统组成

 

 

1、加热元件

                    

 

(1)、硅碳棒的热端粗度d为14mm、一般厂家采用的12MM、加热端粗、不容易弯曲、棒子的表面负荷低,使用寿命长。

(2)、m冷端长度为210mm, 一般厂家采用180mm, 冷端长炉顶温度低。

(3)、硅碳棒表面氧化非晶膜致密,能够比较好的保护碳棒。

 

2、安装有空气开关和漏电保护器:

当电路过流或漏电时,空开会自动断开。

 

3、可以与电脑连接(选购)

该炉配可有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出

 

 

4、炉膛

 

                  

      进口炉膛                            VS                      国产炉膛 

1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。

2、采用日本技术成型。

3、炉膛材料热容低、热传导系数低,从而散热少、保温好、反射率高。温场均衡。

4、炉膛氧化铝丝细而长、耐温高、抗热涨冷缩能力强。

5、炉膛表面光洁、不易掉粉。

 

5、可选UL认证电气板 (全部通过UL认证的进口电器)

 

 

6、不锈钢支撑架

       

 

7、多款可供选择的各种法兰 (直径从25到250mm)

                           

铰链式法兰(选购)       可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰(选购)    水冷法兰(选购)

                   

 

8、认证

     

 

 

 

 

管式炉标准配件

 

 

描叙

数量

图片

TL1400管式炉

1 套

 

刚玉管

1根

不锈钢法兰

1 套

        

不锈钢炉钩

1 个

氧化铝炉塞

2对

高温手套

1 双

氧化铝坩埚

1个

K型热电偶 1个

485转换接口和软件(选配)

1 套

说明书

1本

 

 法兰支撑架

1 份

                                            

供气系统

 

  1台
抽气系统 1台
卡套 4个                                       
波纹管 1支                                    
真空挡板阀 1个                           
钢瓶接头(N代表路数) N个                  
阀门接头 2                              
聚四氟乙烯管(N代表路数) NX5                         

 



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