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1700度单温区CVD系统

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详细技术参数

TL1700管式炉

 

 

 

型号

TL1700-C-I

TL1700-C-II

 功率

5KW

6KW

 炉管尺寸

高纯刚玉管:60/80*1000mm(管径可选)

两边各放置两个炉塞,炉塞可以阻挡炉管中心的热辐射,必须在加热前放置在炉膛的正确位置

外形尺(LXDXH)

1400X700X1560

1400X700X1560

电源电压

220V 

相数

单相

加热元件

1800型硅钼棒

控制方式

 

 采用宇电程序控温仪表(标配)

1、30段程序控温智能PID调节。

2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,,(当电炉温度超过1700度或热电偶烧断时,

主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。

3、带有485 通讯接口(选购软件时标配)

4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

5、仪表具有温度自整定的功能

(更换进口仪表,需要另外付费,选购)

                                                      

FP93控温仪表                          欧陆仪表                   触摸屏仪表

(日本岛电)

控温模式

智能PID

断偶保护和显示

过温保护

过流保护

控制精度

+/- 1 ℃

触发器

移相触发

电器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德国西门康

最高温度

1700 ℃

额定温度

1650 ℃

升温速率

≤20 ℃/ Min (可根据要求修改)

推荐升温速率

≤10℃/ Min

热电偶型号

B型

加热段长度

300 mm

温度校准(选配)

定期对管式炉进行温度校准,可保持炉温的准确性和均匀性。您可以在本公司选购一套简单的校准工具,辅助您完成这项工作,完整的校准套件包括标准热电偶,温度校准仪,补偿导线

            

电器认证

四周表面温度

≤45℃

阀门和法兰

 

 

GX供气系统主要参数

 

质量流量计

 

  量程和气体

5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  (你可以任意选择以上量程和所通气体的类型)

耐压

3MP

流量控制精度

±1.0%F.S

最大工作(使用)压力

0.3MPa

线性

±0.5%F.S.

重复精度

±0.2% F.S

路数

   1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意选择几路)

接头类型

 双卡套不锈钢接头

系统工作压力范围

0.1~0.5 MPa

工作温度

 5-45℃

压力真空表表

-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格

静态混气室

 Dia50 X 400MM

接口

 Dia6  / 1/4”

VS-0.1抽气系统

方案一或方案二任选一个

 

 

 

电源

  220V

尺寸

 650X650X600    /    650X650X300

波纹管

 KF25X1000mm

用该系统抽炉管真空度可达

 10 -1Pa

真空挡板阀

 KF25

VRD-8真空泵 

方案一

型号

VRD-8

  极限分压强

5X10-2 Pa

   进排气接口

 KF25

    电机转速

1440RPM

抽气速率

 2.2L/S

    电机功率

0.4KW

Preiffer ACP15无油多级罗茨泵

 方案二

型号 ACP15
电源  AC100-240   50/60HZ
功率 450W
重量 25KG
最高氦气漏率 5 · 10-8 Pa m3/s 
抽气速率 14  m3/h
极限压强 0.02Torr
进、排气接口 KF25

电阻真空计

(方案一)

   型号

ZDR-1

   功率

25W

  真空度测量范围

0.1-10 Pa

   电阻硅

ZJ-52T

 

瑞典(INFICON)皮拉尼陶瓷电容真空

(方案二)

 

 

 

 

   

 

     型号

PCG554

  输入电压

 24V  1A DC(配有220V变压器)

真空计接口

KF16

数字显示

数字显示(屏幕尺寸为20x14mm),其数据显示单位为torr

产品尺寸

46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

重量

5 lbs

检测气体

可检测各种气体,包括混合气体,测量精确、重复性好。

是否防腐

防腐

响应时间

≤30ms

测量范围

3.8x10-5 -1125 Torr.

分子泵机组(选购)

(方案一或方案二任选一个)

机组输入电压

380V /220V

波纹管

KF40X1000

真空挡板阀

KF40

机箱尺寸

600X600X600

分子泵

(方案一)

 

 分子泵型号

  FJ620

  输入电压

 380V

  分子泵进气口法兰

  DN160

分子泵抽气速率L/S(对空气)

  600

分子泵极限压强(Pa)

6×10-7

冷却方式

 水冷

冷却水压(MPa)

 0.1-0.2

冷却水温度

<25℃

环境温度

0~40℃

建议启动压强

<100pa

分子泵前级真空TRP-24

(FJ620分子泵必须要配此前级泵)

(方案二)

  

功率

0.75KW

电压

380V

转速

1450rpm

进气口径

 KF25/KF40

前机泵抽气速率(L/S)

6

极限压强

4X10 -2Pa

 

 

德国Pfeiffer真空泵(方案二)

 

电压

220V

功率

110W

抽气接口

KF40

重量

150KG

前机泵抽速

0.9m 3/ h

抽气速率(N2)

33L/S

 

复合真空计

复合真空计型号

ZDF

 电源

 220V   55W

控制精度

± 1%

 真空计测量范围

10-5 -10 Pa

保修期

一年保修,终身技术支持

特别提示:1.耗材部分如加热元件,炉管,样品坩埚等不在保修期内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

注意事项

1.炉管内气压不可高于0.02MPa

2.由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa

3.当使用的炉管为刚玉管时,炉体温度高于1500℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当

4.进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的气流对热炉管的冲击

5.对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开排气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)

6.不要在氧化铝管中使用石墨坩埚

7.MoSi2加热元件不得长时间在在低温下(400℃-700℃)使用,否则将可能损坏加热元件

CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

 

这款CVD系统是由4路供气系统+TL1600管式炉+真空系统组成

 

 

1、加热元件

                    

 

(1)、硅钼棒的热端粗度D1为7mm、一般厂家采用的6MM、加热端粗、不容易弯曲、棒子的表面负荷低,使用寿命长。

(2)、采用的是热弯技术,电阻均匀,使用寿命长

(3)、Lu冷端长度为210mm, 400X300X300炉子为260 ,一般厂家采用180mm, 冷端长炉顶温度低。

(4)、硅钼棒表面氧化非晶膜致密,能够比较好的保护硅钼棒。

 

2、安装有空气开关和漏电保护器:

当电路过流或漏电时,空开会自动断开。

 

3、可以与电脑连接

该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出

 

 

4、炉膛

 

                  

      进口炉膛                            VS                      国产炉膛 

1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。

2、采用日本技术成型,

3、该炉膛不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强

 

5、可选UL认证电气板 (全部通过UL认证的进口电器)

 

 

6、触发器

    VS    

    软启动限流触发器                                大部分厂家使用的非限流

                                                                 厦门博特触发器

1、移相触发(带软启动和限流功能)

2、限流功能:无论怎么样设置升温速率,我们电炉的二次电流始终被限制在170A以内,有效的保护了设备。由于采用限流功能,高温下可开炉门。如果您使用的电炉需要在升温过程中对炉子的升温速率进行限制(例如:规定在1400℃后不得超过3℃/min等)即采用非限流触发器。升温速率设置错误或者升温速率过快、这时电流会非常大,设备会跳闸或烧坏。

3、软启动功能:开机时电流会慢慢增大,对加热元件的冲击较小,有利于加热元件寿命的延长

4、保护功能:如果电流超过限制电流、触发器会自动切断触发功能以切断电流保护电炉。

 

7、UL认证变压器

 

1、变压器电缆为纯铜
2、变压器声音小
3、变压器温身低

8、不锈钢支撑架

       

9、多款可供选择的各种法兰 (直径从25到250mm)

                           

铰链式法兰(选购)       可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰(选购)    水冷法兰(选购)

                   

 

10、认证

     

 

 

管式炉标准配件

描叙

数量

图片

TL1700管式炉

1 套

 

刚玉管

1根

不锈钢法兰

1 套

        

不锈钢炉钩

1 个

氧化铝炉塞

2对

高温手套

1 双

氧化铝坩埚

1个

K型热电偶 1个

485转换接口和软件(选配)

1 套

说明书

1本

 

 法兰支撑架

1 份

                                            

供气系统

 

  1台
           抽气系统 1台
卡套 4个                                       
波纹管 1支                                    
真空挡板阀 1个                           
钢瓶接头(N代表路数) N个                  
阀门接头 2                              
聚四氟乙烯管(N代表路数) NX5                         

 

 

 

 

 

 

 



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