大型高真空挡板阀 (气动 304)
适用范围:5.3×10-5Pa~1.2×105Pa(氟胶圈密封)
5.3×10-6Pa~1.2×105Pa(波纹管密封)
打开时阀板上的压差:5.3×10-6Pa~1.2×105Pa任意方向
阀体和阀座漏率:≤1.3×10-7Pa·L·s-1
首次保养循环次数:≤1.3×10-7Pa·L·s-1
阀体烘烤温度:≤150℃
安装位置:密封面朝向真空
电源:交流220V 50Hz,6W或直流24V,3W(特殊规格可定做)
压缩空气:0.5~0.7MPa
阀门开启或关闭时间:≤5s
阀门位置指示:带有启闭位置指示开关(磁性开关)
阀门重量:见产品重量手册