2100度碳管定向凝固炉
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VCF 真 空 碳 管 炉 |
型号 | VCF-25-21-D | |
| 最大功率 | 25KW | ||
| 电源 | 三相 380V 50/60Hz | ||
| 最高加热温度 | 2100℃ | ||
| 优 点 |
1、外形紧凑，占地面积小 2、温度高，最高温度可到2100℃ 3、可生长出高纯度的单晶 4、真空度高，标配扩散泵，真空度5×10-3Pa，可选配分子泵，真空度5×10-4Pa 5、操作简单，设备带有一块10寸触摸屏，可在触摸屏中设置工艺，简单便捷 |
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| 加热碳管尺寸(mm) | Dia130(内径）X220 | ||
| 有效加热尺寸(mm) | Dia90×120 | ||
| 腔体真空度（扩散泵机组） | < 5×10 -3Pa | ||
| 腔体充气压力 | < 0.05MPa | ||
| 升压率 | <4Pa/小时 | ||
| 原理 |
物料在加热区熔化后，升降机构带动坩埚匀速下降，坩埚通过一个均匀下降的温度梯度场，熔融的物料晶格按照一定的顺序重新排列结晶，形成有序的晶格常数。 |
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| 升降平台 |
1、物料可以通过自动升降平台到加热区 2、升降平台行程200mm，可以调节 3、升降平台升降速度 0.1um-2000μm/s 4、升降平台可自动，手动升降，也可多段速升降 5、升降平台上下都做了限位，最大限度的保护设备 |
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| 软件 |
可在软件中启动机械泵，以及各种真空阀 可在软件中设置温度和定向凝固工艺 可在软件中设置循环水报警温度 支持数据记录、保存、数据导出等 |
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| 断偶保护和显示 | 有 | ||
| 过温保护 | 有 | ||
| 过流保护 | 有 | ||
| 欠压保护（水压） | 有 | ||
| 控制精度 | +/- 1℃ | ||
| 温度检测方式 | 钨套管钨铼热电偶 | ||
| 最大升温速率 | < 20度/Min | ||
| 真空腔体内是否水冷 | 是 | ||
| 观察窗尺寸 | Dia 90mm | ||
| 冷水机（选配） | 6P | ||
| 真空机组
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机组输入电压 | 380V /220V | |
| 波纹管 | KF40×1000 | ||
| 真空挡板阀 | KF40 | ||
| 前级真空泵BSV-60 | 功率 | 2.2KW | |
| 电压 | 380V | ||
| 转速 | 1450rpm | ||
| 进气口径 | KF25/KF40 | ||
| 前机泵抽气速率（L/S） | 16 | ||
| 极限压强 | 5X10 -1Pa | ||
| 扩散泵TK200 | 电压 | 220V | |
| 功率 | 2000W | ||
| 进气接口 | DN200 | ||
| 出气接口 | DN40 | ||
| 注入油量 | 0.4L | ||
| 抽气速率（N2） | 2000L/S | ||
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分子泵（选配）
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型号 | FF200/1200 | |
| 抽气速率 | 1200L/S | ||
| 极限压强 | 6×10-6Pa | ||
| 额定转速 | 24000rpm | ||
| 进气口法兰 | DN200 | ||
| 冷却水温度 | ＜25℃ | ||
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复合真空计
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复合真空计型号 | ZDF | |
| 电源 | 220V 55W | ||
| 控制精度 | ± 1% | ||
| 真空计测量范围 | 10-5 -10 5 Pa | ||
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冷水机
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电源 |
3PH-380V/50HZ |
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| 制冷量 |
12.3*10³kcal/h |
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| 输入总功率 |
6.5KW |
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| 扬程 |
30M |
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| 水箱容量 |
110L |
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| 外形尺寸 |
650×1400×1200 |
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| 净重 | 180KG | ||
1、结构组成
炉体、炉盖、炉底、真空系统、控制系统、冷却系统、发热体及隔热屏等。
2、结构说明
1）炉体：为立式炉壳，其内、外层均为304不锈钢做成的圆筒，外层镜面抛光处理。内外筒与前后法兰焊成一个整体，炉体开有电极孔、抽气孔、放气孔、热电偶孔、红外孔及观察孔（炉体正面配观察孔可以对坩埚状态进行观察）等，各接口的材质均为不锈钢。
2）炉盖：由内外封头和法兰焊成，中间可通水冷却，炉盖开启装置。
3）炉底：由内外封头和法兰组成，中间通水冷却，下部设有充放气孔，固定在炉体下部，设有电极引出装置。
3、真空系统：
（1）主要由直联泵、分子泵，气动挡板阀、电磁截止阀、数显复合真空计、真空管路、放气阀、支架等组成；真空管道与泵之间采用金属波纹软管快速接头联接（减缓震动）。
（2）真空主抽泵直联泵（北仪优成）、分子泵（北京科仪）。
（3）气动挡板阀（川北科技）GDQ-200 1台 GDQ-J40 2台
（4）成都睿宝数显真空计ZDF-5227V01 1台。
（5）真空管路1套，由波纹管、三通管、真空泵、两个40真空挡板阀、接口弯管等组成（波纹管内Φ40，三通管为40标准尺寸）。
4、电控系统：
所有控制系统集成在控制柜内操作。通过PID智能控温仪表+功率控制器可以实现智能调节、可靠性高，全数字电路等，电气系统设有过流、过压返馈及保护电路，电控屏箱按西门子标准制作，控温精度高，操作方便。
5、水冷系统：炉体、上下端盖采用夹层水冷的结构形式，在进出水主管路上安装水压继电器及压力表，同时与控制柜连接，异常状态时报警。能够定性的观察各分水路的水流大小。整个水冷系统确保各分路回水温度不高于40℃（进水温度20℃）。水冷系统主进直径40mm、回水管直径50mm（进水压力0.4MPa）。
