一键式操作MOCVD设备
该设备主要是采用金属有机化合物化学气相沉积法（MOCVD）生长二维材料MoS2，其优点是气密性好，流量和温度控制精准，自动化程度高，软件操作简单等
技术参数
| 型号 | TL1200-Ⅱ-Mo | ||
| MOCVD原理 |
MOCVD是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。 MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种Ⅲ-V主族、Ⅱ-Ⅵ副族化合物半导体以及薄层二维材料。 |
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| MOCVD简图 |
该系统包含一组加料系统、一组供气系统，，一套控压系统、一台双温区管式炉。 |
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软 件
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软件操作简单，程序设置好后，可一键启动。软件具有数据储存和导出的功能，可实时显示温度和压力曲线，可一键破真空 |
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| 外形尺寸 |  |
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| 加料系统 |
加料系统由一个密封性很好的不锈钢罐子、加料口、管道、流量计、阀门组成 金属有机源材料通过加料口被加进加料罐中，在加料罐中被加热蒸发成气体，然后向加料罐中通入惰性气体，惰性气体带着气相的金属源从管道进入加热炉内。 |
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供 气 系 统 |
供气系统由质量流量计，管道，阀门组成 |
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| 管道 | 均采用不锈钢管，接头处都使用VCR接头焊接，保证气密性 | ||
| 阀门 | 都是日本富士金气动隔膜阀，响应时间极快，流量大，耐腐蚀，密封性好 | ||
| 质量流量计 | 量程和气体 | 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意选择以上量程和所通气体的类型） | |
| 耐 压 | 3MP | ||
| 流量控制精度 | ±1.0%F.S | ||
| 最大工作（使用）压力 | 0.3MPa | ||
| 线 性 | ±0.5%F.S. | ||
| 重复精度 | ±0.2% F.S | ||
| 控压系统 |
稳压系统由真空泵、英国欧陆控制器、宇电控制器、压力变送器、电容规等组成。 在进气量小于2000SCCM，此稳压系统可将腔体内压力控制在0~20000Pa范围内的某一数值。压力波动±1Pa 宇电控制器和压力变送器用于控制真空泵的启动和粗略真空控制，压力变送器量程-100KPa~100KPa 欧陆仪表和电容规用于精确控制真空，压力测量范围0~20000Pa |
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管
式
炉 |
型 号 | TL1200-1200 | |
| 功率 | 17KW | ||
| 电源电压 | 三相380V 50Hz 空开4P C50A 电缆线5芯6平方 | ||
| 炉管尺寸 | 高纯石英管 100×60+250×1000mm（变径石英管） | ||
| 外形尺寸 | 1700×600×850mm | ||
| 温度范围 | 0-1200℃ | ||
| 额定温度 | 1150℃ | ||
| 加热原件 | 电阻丝 | ||
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控温方式
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采用欧陆程序控温仪表（标配） 1、8*5段程序控温，智能PID调节。 2、具有过温保护 断偶保护，过温或断偶时电炉加热电路自动切断,（当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。 3、带有485 通讯接口 4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从再次给电时炉温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能 |
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| 炉膛材料 | 1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
2、采用日本技术成型，不掉渣，保温好。 3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本成熟的热工技术布置、经过热工软件模拟温场 |
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| 阀门和法兰 |
左侧是一个KF60的水冷法兰，卡套式接口，方便拆卸，带有4个进气口，进气口接头均采用VCR接头，密封很好。
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| 控温精度 | ±1℃ | ||
| 触发器 | 移相触发 | ||
| 电器 | 浙江正泰 | ||
| 可控硅 | 106/16E 德国西门康 | ||
| 升温速率 | ≤30 ℃/ Min （可根据要求修改） | ||
| 推荐升温速率 | ≤15 ℃/ Min | ||
| 热电偶 | K型（2支） | ||
| 加热段 | 260+600mm | ||
| 真空泵 |
飞越VRD30 功率：1.1KW 电源电压：三相380V 电机转速：1440rpm 极限压强：4×10-1Pa |
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| 开盖保护系统 |
当炉盖打开时继电器会自动切断主电源，有效地保证使用者的安全 |
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| 管式炉安装操作说明（点击进入） | |||
| 保修期 |
一年保修，终身技术支持 特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不在保修期内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |
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右侧是一个KF250的水冷法兰，铰链式结构，采用螺栓固定法兰盖，方便拆卸，不用拧螺丝，该法兰上带有多个KF25接口，方便接其它设备。
