可倒料CVD系统

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详细技术参数

TL1200-1200 双温区管式炉	型号	TL1200-Ⅲ-CVD
	功率	30KW
	炉管尺寸	高纯石英管:300*1900mm(管径可选）两边各放置一个炉塞，炉塞可以阻挡炉管中心的热辐射，必须在加热前放置在炉膛的正确位置
	外形尺（LXDXH）	2900X950X1210
	电源电压	三相380V
	加热元件	国产优质电阻丝（可选配进口瑞典Canthal A1 电阻丝）点击进入资料下载
	控制方式	采用宇电程序控温仪表（标配） 1、30段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。 3、带有485 通讯接口（选购软件时标配） 4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能（更换进口仪表，需要另外付费，选购） FP93控温仪表欧陆仪表触摸屏仪表（日本岛电）
	控温模式	智能PID
	断偶保护和显示	有
	过温保护	有
	过流保护	有
	控制精度	+/- 1 ℃
	触发器	移相触发
	电器	浙江正泰
	可控硅	106/16E 德国西门康
	最高温度	温区一：1200 ℃ 温区二：1200 ℃ 温区三：1200℃
	额定温度	温区一：1100 ℃ 温区二：1100 ℃ 温区三：1100℃
	升温速率	≤30 ℃/ Min （可根据要求修改）
	推荐升温速率	≤15℃/ Min
	热电偶型号	K 型
	加热段长度	440+440+440mm
	温度校准（选配）	定期对管式炉进行温度校准，可保持炉温的准确性和均匀性。您可以在本公司选购一套简单的校准工具，辅助您完成这项工作，完整的校准套件包括标准热电偶，温度校准仪，补偿导线
	电器认证
	四周表面温度	≤45℃
	阀门和法兰
	防爆系统	防爆系统由压力变送器、防爆电磁阀和宇电控制仪表组成可在宇电控制表上设置报警压力，当炉管内压力大于等于设定的报警压力时，防爆系统会自动启动，并放出炉管内多余的气体。防爆电磁阀由两个方向相反的单向阀组成，无论是真空还是气氛下都可以关的很好，不漏气，不回流。压力变送器是一种将压力转换成电信号进行控制和远传的设备。压力变送器将测压元件传感器感受到的气体参数转变成标准的电信号（如4~20mADC等），输出给控制仪表，控制仪表将接收到的电信号进行转换输出给电磁阀，电磁阀根据接收到的信号动作压力变送器防爆电磁阀
	倒料系统	炉体可倾斜，倾斜之后物料即可从炉管中滑下，倾斜角度30℃
GX供气系统主要参数	质量流量计	量程和气体	5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意选择以上量程和所通气体的类型）
		耐压	3MP
		流量控制精度	±1.0%F.S
		最大工作（使用）压力	0.3MPa
		线性	±0.5%F.S.
		重复精度	±0.2% F.S
	路数	1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意选择几路）
	接头类型	双卡套不锈钢接头
	系统工作压力范围	0.1~0.5 MPa
	工作温度	5-45℃
	压力真空表表	-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格
	静态混气室	Dia50 X 400MM
	接口	Dia6 / 1/4”
真空系统	电源	220V
	波纹管	KF25X1000mm
	用该系统抽炉管真空度可达	10 ^-1Pa
	真空挡板阀	KF25
	RV4真空泵	型号		RV-4
		极限分压强		5X10^-2Pa
		进排气接口		KF25
		电机转速		1440RPM
		抽气速率		4L/S
		电机功率		0.4KW
	电阻真空计	型号		ZDR-1
		功率		25W
		真空度测量范围		0.1-10 ⁵Pa
		电阻硅		ZJ-52T