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博蕴通碳管炉

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  • 博蕴通碳管炉
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  • 图组简介

这是一套在1600度下沉积SiC薄膜的装置,最高温度2100度,带四路供气系统、四氯化硅罐体和管道,可配恒压泵保证沉积腔内气体在1Pa到1000Pa内的任意压强,比管式炉安全可靠,温度更高。



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