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2100℃真空烧结炉

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VCF

型号 VCF-48-21
特 点

该设备可用于做碳沉积之类的CVD实验,其具有以下优点

1、温度高,可达到2100℃

2、安全,不会像管式炉出现断管子的风险

3、腔体大,比管式炉处理的样品体积大

4、加装防爆阀,可及时将腔体内多余气体排出。

5、采用电容薄膜规测量真空度,测量结果更精准。

若用户需要洁净的环境,可选购我公司钨丝炉或钼丝炉,具体可咨询我公司销售

技术方案

1、一个石墨桶放在加热区内,石墨桶内有两个(也可定制其它数量)放物料的支架

2、气体由下方进气口进入石墨桶内,经过物料架,在衬底材料表面经过化学反应形成固体沉积物,多余的气体经上方排气口排出。

最大功率 48KW
电源 三相 380V  50/60Hz
最高加热温度 2100℃
控温模式 欧陆  3204   智能PID  5×16段程序控温
加热碳管尺寸(mm) Dia200(内径)×320
有效加热尺寸(mm)  Dia160×160
腔体真空度(扩散泵机组) < 5×10 -3Pa
腔体充气压力 < 0.05MPa
升压率 <4Pa/小时
断偶保护和显示
过温保护
过流保护
欠压保护(水压)
控制精度 +/-  1℃
温度检测方式 钨套管钨铼热电偶
最大升温速率 < 20度/min
真空腔体内是否水冷
观察窗尺寸 Dia 90mm
外形尺寸 1.85*1.6*2米
防爆系统

防爆系统由压力变送器和防爆阀组成

压力传感器,可在压力控制表上设置报警压力,当炉管内压力大于等于设定的报警压力时,防爆系统会自动启动,并放出炉管内多余的气体。

防爆电磁阀由两个方向相反的单向阀组成,无论是真空还是气氛下都可以关的很好,不漏气,不回流。

                            

      压力变送器                       防爆阀

  冷水机(选配) 8P

 

 

机组输入电压 380V /220V
波纹管 KF40×1000
真空挡板阀 KF40

 前级真空泵

VRD-60

功率 2.5KW
电压 380V
转速 1450rpm
进气口径  KF25/KF40
前机泵抽气速率(L/S) 15
极限压强 4×10 -2Pa
扩散泵TK200 电压 220V
功率 2000W
进气接口 DN200
出气接口 DN40
注入油量 0.4L
抽气速率(N2) 2000L/S

复合真空计

复合真空计型号 ZDF
 电源  220V   55W
控制精度 ± 1%
真空计测量范围 10-5 -10 Pa
      

GX

 

质量流量计

量程和气体 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  (你可以任意选择以上量程和所通气体的类型)
耐压 3MP
流量控制精度 ±1.0%F.S
最大工作(使用)压力 0.3MPa
线性 ±0.5%F.S.
重复精度 ±0.2% F.S
 路数 1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意选择几路)  
接头类型 双卡套不锈钢接头
系统工作压力范围 0.1~0.5 MPa
工作温度  5-45℃
压力真空表表 -0.1~0.15MPa    0.01MPa/格
静态混气室  Dia50 X 400MM
接口  Dia6  / 1/4”

      冷水机

 

      

电源

3PH-380V/50HZ

制冷量

18.3*10³kcal/h

输入总功率

12KW

扬程

50M

流量

12m3/h

水箱容量

130L

外形尺寸

730×1335×1415

 净重 285KG 

一:设备特点

本电炉为周期作业式,广泛应用于功能陶瓷,光学材料,碳复合材料,硬质合金,粉末冶金等在高温真空条件下进行烧结处理,也可在充气保护情况下成型烧结。

 

二、结构组成

1.炉体        2.炉盖      3.炉底            4.炉架       5.真空系统    

6.温控系统     7.气路系统    8.变压器及联接电缆    9.水冷系统    10.发热元件及隔热屏

 

三、结构说明

1炉体:采用双层水夹层结构,内层为不锈钢(1Cr18N9Ti)抛光,外层为优质碳钢,上、下法兰组焊成筒型结构,法兰平面开设密封槽。采用“O”圈真空密封,并设水冷装置(防止因温度过高“O”圈老化)。开设有抽气、热电偶、红外孔等。

2炉盖:采用双层夹层封头结构,设有观察孔,屏蔽、锁紧、开启装置,并通水冷却。

3、炉底:同样采用双层水夹层封头结构,设有电极引出装置,支撑平台等,并设有水冷装置。

4、炉架:由型钢及钢板组焊成箱式结构,炉体安放在箱体上,美观大方。

5、真空系统:由壹台TK-200扩散泵配冷阱,壹台VRD-60机械泵、手动高真空挡板阀、真空压力表(±Pa)、充气阀、放气阀和真空管路等组成。机械泵采用金属波纹软管快速接头联接(减缓震动),真空度的测量采用数显复合真空计。

6、温控系统:采用可控制硅控温,仪表为欧陆温控表,具有P.I.D调节、超温声光报警功能,电器元件采用正泰品牌,电控屏箱按西门子标准制作,控温精度高,操作方便。

7、气路系统:在整个系统中设有1个进气口、1个放气口,可充气氛。

8、电气控制:采用可控硅控温,配有大电流变压器、调压器及温度控制仪表组成温度控制执行回路。电路设有断水、过流、超温报警及保护功能。

9、水冷系统:由各种管道阀等相关装置组成,具有断水声光报警自动切断电源功能。

10、变压器及联接电缆:采用与之相匹配的变压器及联接电缆。

11、发热元件及隔热屏:热元件采用电极石墨加工成圆筒形的结构,隔热屏采用石墨、碳毡、石墨毡(1层石墨筒,4层碳毪和4层石墨毡,每层厚10mm以上),保温性能好、加热均匀、辐射面大、耐热冲击性好,可快速加热和冷却。保温层和发热分体,易维护和取装,保温套外用不锈钢框架支撑,固定。



我们只专注于电炉和球磨机。因为专注、所以专业。



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