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1200度氢气管式炉CVD系统

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详细技术参数

TL1200 管式炉

 

 

型号

TL1200-H-I  

TL1200-H-II  

 TL1200-H-III

TL1200-H-IV

 功率

3.5KW

3.5KW

3.5KW

5KW

炉管尺寸 

 高纯石英管:60/80/100/150*1000mm(管径可选)

两边各放置一个炉塞,炉塞可以阻挡炉管中心的热辐射,必须在加热前放置在炉膛的正确位置

 外形尺(LXDXH)

1700X800X1500

1700X800X1500

1700X800X1500

1700X800X1500

电源电压

220V

相数

单相

加热元件

国产优质电阻丝     (可选配瑞典 Kanthal A1进口电阻丝)  点击进入资料下载

控制方式

 

 采用宇电程序控温仪表(标配)

1、30段程序控温智能PID调节。

2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时,

主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。

3、带有485 通讯接口(选购软件时标配)

4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

5、仪表具有温度自整定的功能

(更换进口仪表,需要另外付费,选购)

                                                        

FP93控温仪表                          欧陆仪表                   触摸屏仪表

(日本岛电)

控温模式

智能PID

断偶保护和显示

过温保护

过流保护

控制精度

+/- 1 ℃

触发器

移相触发

电器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德国西门康

最高温度

1200 ℃

额定温度

1100 ℃

升温速率

≤30 ℃/ Min (可根据要求修改)

推荐升温速率

≤15℃/ Min

热电偶型号

K  型 

加热段长度

440mm

恒温区

150mm

温场曲线

温度校准(选配)

定期对管式炉进行温度校准,可保持炉温的准确性和均匀性。您可以在本公司选购一套简单的校准工具,辅助您完成这项工作,完整的校准套件包括标准热电偶,温度校准仪,补偿导线

            

电器认证

四周表面温度

≤45℃

阀门和法兰

 

 

点火器

 

点火器主要用于尾气的处理,从加热炉中出来的尾气如果直接排放有一定的危险,

点火器可以把排放出来的可燃气体燃烧掉。

技术参数:

1.点火器的结构

DHQ点火器由烧嘴、高压包、智能控制器、指示灯、电磁阀、紫铜管、火焰监测器等组成。

2.点火过程:

打开点火按钮、电磁阀开启、气体流出到点火嘴、点火嘴喷出电火花点火,火焰检测器

检测到火焰、点火成功、绿灯亮,火焰检测没有检测到火焰、点火失败、黄灯亮并伴随

有报警声、进气口电磁阀自动关闭。

3.电磁阀: 220V  常闭               4.电源:220V  50HZ  200W

5.触电容量:最高2A,253V,内部没有熔断丝   6.控制阀门数:1个   

防爆系统

防爆系统由压力变送器、防爆电磁阀和宇电控制仪表组成

可在宇电控制表上设置报警压力,当炉管内压力大于等于设定的报警压力时,防爆系统会自动启动,并放出炉管内多余的气体。

防爆电磁阀由两个方向相反的单向阀组成,无论是真空还是气氛下都可以关的很好,不漏气,不回流。

压力变送器是一种将压力转换成电信号进行控制和远传的设备。

压力变送器将测压元件传感器感受到的气体参数转变成标准的电信号(如4~20mADC等),输出给控制仪表,控制仪表将接收到的电信号进行转换输出给电磁阀,电磁阀根据接收到的信号动作

                            

      压力变送器                       防爆电磁阀

   

氢气探测器

氢气气体探测器是一种通过进口催化燃烧式传感器,可以对氢气的易燃易爆性进行检测的安全仪器。具有防爆、防尘的特点,可广泛适用于石油、化工、冶金、煤矿等存储、使用与贮存氢气的场所。 

 

GX供气系统主要参数

 

质量流量计

量程和气体

  5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  (你可以任意选择以上量程和所通气体的类型)

耐压

3MP

流量控制精度

±1.0%F.S

最大工作(使用)压力

0.3MPa

线性

±0.5%F.S.

重复精度

±0.2% F.S

路数

   1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意选择几路)

接头类型

 双卡套不锈钢接头

系统工作压力范围

0.1~0.5 MPa

工作温度

 5-45℃

压力真空表表

-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格

静态混气室

 Dia50 X 400MM

接口

 Dia6  / 1/4”

VS-0.1抽气系统

方案一或方案二任选一个

 

 

 

电源

  220V

尺寸

 650X650X600    /    650X650X300

波纹管

 KF25X1000mm

用该系统抽炉管真空度可达

 10 -1Pa

真空挡板阀

 KF25

VRD-8真空泵 

(方案一)

型号

VRD-8

极限分压强

5X10-2 Pa

进排气接口

 KF25

电机转速

1440RPM

抽气速率

 2.2L/S

电机功率

0.4KW

Preiffer ACP15无油多级罗茨泵

 

(方案二)

型号 ACP15
电源  AC100-240   50/60HZ
功率 450W
重量 25KG
最高氦气漏率 5 · 10-8 Pa m3/s 
抽气速率 14  m3/h
极限压强 0.02Torr
进、排气接口 KF25

电阻真空计

(方案一)

   型号

ZDR-1

   功率

25W

  真空度测量范围

0.1-10 Pa

   电阻硅

ZJ-52T

    

 

 

 

 

瑞典(INFICON)皮拉尼陶瓷电容真空计

(方案二)

 

 

 

   

 

     型号

PCG554

  输入电压

 24V  1A DC(配有220V变压器)

真空计接口

KF16

数字显示

数字显示(屏幕尺寸为20x14mm),其数据显示单位为torr

产品尺寸

46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

重量

5 lbs

检测气体

可检测各种气体,包括混合气体,测量精确、重复性好。

是否防腐

防腐

响应时间

≤30ms

测量范围

3.8x10-5 -1125 Torr.

分子泵机组(选购)

(方案一或方案二任选一个)

机组输入电压

380V /220V

波纹管

KF40X1000

真空挡板阀

KF40

机箱尺寸

600X600X600

分子泵

(方案一)

 

 分子泵型号

  FJ620

  输入电压

 380V

  分子泵进气口法兰

  DN160

分子泵抽气速率L/S(对空气)

  600

分子泵极限压强(Pa)

6×10-7

冷却方式

 水冷

冷却水压(MPa)

 0.1-0.2

冷却水温度

<25℃

环境温度

0~40℃

建议启动压强

<100pa

分子泵前级真空TRP-24

(FJ620分子泵必须要配此前级泵)

(方案二)

  

功率

0.75KW

电压

380V

转速

1450rpm

进气口径

 KF25/KF40

前机泵抽气速率(L/S)

6

极限压强

4X10 -2Pa

 

 

德国Pfeiffer真空泵

(方案二)

 

电压

220V

功率

110W

抽气接口

KF40

重量

150KG

前机泵抽速

0.9m 3/ h

抽气速率(N2)

33L/S

 

复合真空计

复合真空计型号

ZDF

 电源

 220V   55W

控制精度

± 1%

 真空计测量范围

10-5 -10 Pa

质保期

一年保修,终身技术支持

特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不在保修期内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

注意事项

1.炉管内气压不可高于0.02MPa

2.由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa

3.进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的气流对热炉管的冲击

4.对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开排气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)

 

 

CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

 

这款CVD系统是由3路供气系统+TL1200氢气管式炉+低真空系统组成

 

这款管式炉以进口电阻丝瑞典(Canthal)为加热元件,采用双层壳体结构和宇电控温仪表,能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。

康泰尔电阻丝资料下载

 

 

1、 电阻丝

                                    

           

        电阻丝原丝                                                         电阻丝炉膛

 

(1)、表面温度高可达1420

(2)、表面为不锈钢色(非常亮、客户识别时要注意)、不会生锈,使用时间再长都不会掉渣。

(3)、电阻均衡、温场均衡性好

 

                                                          

    Kanthal  A1 电阻丝 电阻均匀 、 发热量均衡

    温场效果好                 

 

2、安装有空气开关和漏电保护器:

当电路过流或漏电时,空开会自动断开。

 

3、可以与电脑连接

该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出

 

 

4、炉膛

 

     

1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。

2、采用日本技术成型。

3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本成熟的热工技术布置、经过热工软件模拟温场

4、采用4周加热,温场更加均衡

 

5、可选UL认证电气板 (全部通过UL认证的进口电器)

 

 

6、不锈钢支撑架

       

 

7、认证

     

 

8、法兰

                                                    

铰链式法兰(选购)           可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰(选购)                 水冷法兰(选购)

                                

 

 

TL1200-CVD系统标配

 

描叙

数量

图片

TL1200管式炉

1 套

                     

石英管

1根

不锈钢法兰

1 套

 

不锈钢炉钩

1 个

氧化铝炉塞

1对

高温手套

1 双

氧化铝坩埚

1个

K型热电偶 1个

485转换接口和软件(选配)

1 套

说明书

1本

 

法兰支撑架

1 份

                                            

供气系统

 

1台
VS-0.1抽气系统 1台
卡套 4个                         
波纹管 1支                          
真空挡板阀 1个                     
钢瓶接头(N代表路数) N个                  
阀门接头 2                              
聚四氟乙烯管(N代表路数) NX5                         

 

 

 



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